Модернизация и настройка вакуумной установки Caroline D12B
Были выполнены работы по замене контроллеров Adam в блоке контроллеров на современные контроллеры ICPDAS. Была модернизирована управляющая программа для работы с новыми контроллерами. Так же была решена проблема с наводками на свидетель измерения толщины напыленного слоя при работе блоков питания и ионного источника, без применения специализированного измерительного оборудования. Срок службы старых контроллеров Adam ограничен 10-ю годами, после этого, происходит деградация энергозависимой памяти контроллера и внутренняя программа (прошивка) контроллера перестаёт загружаться, как следствие пропадает связь с управляющей программой.
На видео ниже, видно как происходит напыление на свидетель. Когда свидетель проходит напротив работающего магнетрона, сопротивление резко падает, но потом восстанавливается в реальное значение. Задача программы фильтровать эти скачки.
